据了解，该项目核心部件--低温真空泵（“博开冷泵”），由我县浙江博开机电科技有限公司作为项目分承研方负责研制。受中美贸易摩擦影响，低温真空泵作为集成电路装备制造核心部件和技术壁垒高的高科技产品已逐渐被限制和禁运。为解决国家高端集成电路装备制造“卡脖子”难题，博开机电科技有限公司通过核心技术攻关和优势资源整合，推动建立和完善我国集成电路制造技术体系和产业生态。该项目总研制经费约12600万元，中电第十六研究所作为总承研方，浙江博开机电科技有限公司作为分承研方，预计投入经费3150万。

下一步，县科技局将不遗余力加强过程管理与服务，聚焦项目实施过程中的重大科学问题和关键技术难题，推动企业携手科研界深化合作、协同创新，力争在关键核心技术上取得突破性进展，为保障我县集成电路产业发展提供坚强科技支撑。